第264章 等一个大惊喜

时间很快进入到六月份，极紫外光刻机项目全部成员再次被徐昀震撼到，哪怕心里面已经有了准备还是被惊的说不出话。如果前两次会议只是单纯惊讶难以相信，那么这回则是属于超出了自己的认知。本来徐昀规划好项目接下来的方向后，他们便开始着手研究光源。尽管大家都知道很有难度，但或许是因为徐昀的加入尽皆充满斗志和**，想要用自己的能力为项目进展做出贡献。可没想到事情的发展超出了所有人预料。这才刚过去十几天，徐昀便再次召开项目会议。刚开始他们还以为是进一步讨论光源的研究，结果会议上徐昀竟直接拿出了具体方案。并且经过研究确认，可行性非常高。“这份关于光源的制作方案是我设计出来的，我认为它的功率足以满足高端光刻机需要，接下来我们应该尽快将此光源制造出来展开测试。”会议室内徐昀看着正在看手中资料的众人，面色平静的说出这番话。那天他用大脑超频解决光源问题，便立刻将脑海中的方案书写出来。并在完成后第一时间召开项目会议宣布这件事。放在以前他突然拿到这个光源设计方案肯定会引起外界非常大的轰动，甚至真要怀疑他是不是意外得到了外星文明拥有的技术。被调查监控都有可能。但现在他早已向外界展示出了自己的实力，他是有能力解决光刻机问题的。所以倒也不必故意多耽搁些时间。此刻会议室内所有人的注意力都集中在文件上，甚至都不知道是否听见了徐昀的话，总之丝毫没有掩饰脸上流露出的诧异和震撼。包括身为院士的罗长辉。将大家的反应看在眼里，徐昀知道他们不从现有状态脱离出来的话，他说的任何话估计都听不进去。在这种情况下尽管有些哭笑不得，但也只好选择闭口不言。暂时保持沉默。就这样不知多长时间过去，才见罗长辉率先停下动作抬起视线。“你准备采用氟化氙光源方案？”“没错。”徐昀点头回答。他耗费积分得到的光源制造方向正是氟化氙光源。相比市面上常见的其它光源，氟化氙光源性能更优适合用于光刻。不过其制作难度较大。国内始终没有解决此光源面对的问题。罗长辉显然很清楚各种光源的情况，因此看到文件中内容后便基本确定很大概率是可行的。也就是说只要他们按照这份文件中的设计方案来制造氟化氙光源，那么就有可能成功，如此便相当于彻底解决了高端光刻机的光源问题，大幅度缩短国产高端光刻机的研发进度。但他最震撼的，还是设计方案出自徐昀之手。他可以确定徐昀在加入项目成为负责人前，应该是没有系统性研究过光刻机的。也就是说徐昀在短短十几天内，不但确定了研究方向还完成了方案。简直就是妖孽。尽管早就听说徐昀的天赋非常强大，连续创造出了多项不同领域内的奇迹。不过这并没有什么清晰概念。而现在他见识到了。强行压制住内心无比的激动，他再次确认道：“这份方案是你写出来的？”“虽然还没有进行实际测试，但我觉得这项理论是可行的。”徐昀面色平静回复一句，接着又反问道：“罗院士以为这项理论能行吗？”“可以试一试。”罗长辉沉声答道。就目前而言他们并没有其它成熟的光源方案，徐昀的氟化氙光源确实是最佳选择。加上文件中的理论非常详细，真着手去制造的话用不了多长时间便能得到稳定的氟化氙光源，届时是否能满足光刻机要求，只需要测试出光源可以稳定发出的功率就行。真要成功的话，国产极紫外光刻机便相当于攻克一项重大难题。是突破性的进展。关键距离新极紫外光刻机项目成立还没多久。当然就算失败了也没关系。权当积累经验。他们两人的对话进行到这里，旁边研究员杨靖教授也终于回过神来，脸上浮现出溢于言表的笑容。“这份方案太棒了，我敢肯定只要按照上面的去做肯定能制造出功率强大稳定的氟化氙光源。”随着他的话音落下，其他几位研究员也像是被打开了话匣子纷纷开口表态。“我暂时没发现有什么漏洞。”“方案理论是可行的，我们应该立刻尝试实验。”“院里邀请徐教授您来担任项目负责人简直是非常正确的决定，这才多长时间您就已经有了极紫外光刻机光源的解决方案。”将几位研究员的话听进耳朵，徐昀脸上浮现出淡然笑容稍微谦虚了句。“我之前对光源有过相关研究，这项方案说实话也没有百分百的把握。”“别说百分百的把握，哪怕只有一点把握都值得我们去尝试。”罗长辉这时候情绪也平静了下来，接过话茬开口补充了句。光电技术研究所很早就开始研发光刻机，奈何相比海外始终落后大截。根本不具备制造高端芯片的能力。其中对光源的研究更是有局限，很难提升光源的功率并且保证稳定输出。丝毫不夸张的讲，若不是有徐昀加入项目组，就凭氟化氙光源都要让他们研究许久。毕竟能制造出氟化氙光源没啥厉害的，关键要能保证功率和持续性的稳定输出。无法保证光源稳定的话，功率最大值哪怕再大都无法用于极紫外光刻机。单凭这点便足以证明徐昀的实力。但要说会议室内此刻谁的情绪波动最大，那肯定属刘星和另外几位博士后研究员助理。就差把心里想法写到脸上。因为徐昀并没有把方案复制太多份，刚才也就只有罗长辉等几位研究员看到。突然看见包括罗长辉在内的研究员在看完文件后都是这么个反应，他们心里难免会感到非常好奇，尤其后面听到和光源有关，情绪波动的更加激烈知道这绝对是个大消息。最终只见刘星率先按耐不住，投过视线主动向徐昀询问起来。“那个徐教授，这份方案我们可以看吗？”徐昀自然没有忘记他们这些研究员助理，既然都属于项目组成员肯定有知情权。再说大家一起努力才能加快进度。本来他是打算会议结束后在让各研究员去说，既然都那么期待提前也没关系。念头停留在这里徐昀并没有迟疑什么，当即拿起自己面前的方案递了过去：“你们现在想看那就看吧。”“谢谢徐教授。”刘星并没有在这种时候选择推辞，闻言连忙走上前接过文件和身边人分享。能进入到光学技术研究所博士后流动站，刘星等人可不见得有多么差劲，和杨靖等研究员相比无非是经验和资历上的差距。对于文件中的内容自然会有自己的判断，知道是否具备实验价值。可能是找到光源研究方向心情比较高兴缘故，罗长辉杨靖等研究员并没有表现出不耐烦，而是耐心等待刘星和其他博士后大致看完文件。不知过去多久，刘星率先回过神来，把文件递给身旁的人后立刻看向徐昀。目光中满是敬佩和激动。“徐教授您太厉害了，没想到那么快就有了氟化氙光源的制作方法。”话音刚落，其余人也不甘示弱纷纷开口。“没想到还可以用这种方法来解决氟化氙光源的制造难度问题，我以前竟然没有任何这方面的想法。”“有了这份方案，我们是不是很快就能制造出稳定的光源。”“我已经迫不及待想参与实验了。”而这时没等徐昀开口回答，坐在旁边的罗长辉主动出声讲道：“现在可还不是我们值得庆祝的时候，起码要得到详细的氟化氙测试结果才行，接下来大家先暂时停止手上的事情，全力制造氟化氙光源装置。”能看出他整个人的**已经被调动出来。罗长辉所说的事情正是徐昀接下来的安排，因此便顺着补充了句。“那么今天的会议就到这里，接下来的时间我想大家应该要有的忙了。”说完会议也正式结束。今天把项目成员都喊过来参加会议，主要是商议氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已经集体通过，那自然没必要继续浪费时间。何况相信大家经过刚才的事情后，都已经迫不及待想动手了。毕竟自己能参与到国产首台极紫外光刻机诞生可是件充满荣耀的事。当然实际情况也正是如此。会议结束后在徐昀的带领下，大家都被安排任务。立刻着手氟化氙光源的制造。……和从零开始制造氟化氙不同，前者需要不断试错承担功率较小或者无法长时间保持稳定输出的结果，这个过程除了需要大量投入外，还非常浪费时间并且最终得不到任何结果都正常。但徐昀他们完全不同。有那份设计方案作为依靠，这就相当于开卷考试。他们进行的过程就是把答案抄在试卷上，基本不需要费太多精力。加上还有徐昀亲自参与，几乎是在六月底的时候研究所成功制造出一个氟化氙光源装置。并且为确定是否能用于高端光刻机，当天便对光源的波长功率稳定性等进行了测试。“虽然我觉得这次我们肯定能成功，但不知怎么心里还是有些紧张。”2020年6月22日，锦城，光电技术研究所极紫外光刻机项目。光源测试实验室外面，穿着白色研究服的杨靖来回迈着步伐显得有些不安，尽管表面上故作镇定，但脸上隐藏不了的小表情还是把真实感受暴露。这段时间在参与了光源的制造后，他更加坚信徐昀方案的可行性。认为极紫外光刻机的光源问题已经解决。可眼看最终的光源测试结果就要出来，心里多少还是有些忐忑。相比坐不住的杨靖，罗长辉明显镇定许多，坐在旁边椅子上还不忘打开杯子喝茶。“把心态放平和，既然选择了相信徐教授，那就耐心等待结果。”“我这不是害怕嘛。”杨靖听到罗长辉这话有些不好意思。好歹他也是半截身子入土的研究员教授，遇到事情表现的还不如那些博士后，确实多少有些不太妥当。不过话是那样说，但试问又有几个能真正做到波澜不惊。俗话说见过了光明便再难接受黑暗，徐昀的光源方案让他们看到了希望，属于国产极紫外光刻机终于能交付使用的希望。若最终测试出的结果无法达到要求，那么这些天的努力都将白费。尽管科学研究本就不应惧怕失败，但对于项目成员肯定是个不小的打击。杨靖没有再回应罗长辉的话，而是把目光投向了同样面色平静的徐昀，稍作迟疑还是嘴唇轻启询问了句。“徐教授。”“你说这次我们能成功吗？”“当然会成功。”徐昀闻言迎上对方的眼神非常坚定的回答。好歹这也是他耗费150积分推导出的方案，自然有着百分百的把握。可以说出现特殊状况的概率基本不存在。正因如此他才全程保持着平静，压根没有担心。甚至要不是杨靖主动询问，他甚至都不打算多说一句话。但该说不说杨靖听到徐昀这话镇定不少，显然是出于对徐昀的信任选择相信光源的测试结果。就这样大概又过去十多分钟的时间，只见穿着研究服的刘星终于从里面走出来，手中还拿着份氟化氙光源的测试数据报告。几乎是瞬间大家的注意力便集中在了刘星身上，连罗长辉也猛地站起身来。而对此刘星却像是没注意到其他人似的，径直走到徐昀跟前把报告递过去的同时开口汇报。“徐教授。”“我们的氟化氙光源测试成功了。”“这是详细数据。”尽管徐昀早就清楚会是这个结果，听到这句话还是突然加快了手上动作，迅速查看起上面的详细数据。首先氟化氙光源的波长为13.5纳米，满足极紫外光刻机的要求。光源工作功率成功达到250瓦，且非常稳定。也就是说他们制造的氟化氙光源完全能够使用在极紫外光刻机上，距离首台国产高端光刻机的正式交付使用又往前迈了一大步。“你们也都看看吧。”徐昀确定这个结果，又把手中的报告分别递给杨靖罗长辉等人。后者几人脸上都浮现出激动神情。“我们真的成功了，这是货真价实的极紫外光源。”“这些天加班熬夜付出的辛苦都是值得的，海外那些傲慢的家伙肯定不会想到我们的研发会这么顺利。”“全靠徐教授我们才能做到今天这步。”正在大家都沉浸在这份喜悦中时，丝毫没有隐藏自己脸上激动神情的刘星，突然当着众人的面提出了一个自己的建议。“徐教授。”“我们要不要立刻宣布这个好消息，让海外那些人看看我们究竟能不能制造出极紫外高端光刻机。”这句话也得到了杨靖的同意，同样附和道：“让大家知道我们在光源上的重大突破，肯定会非常高兴调动出民众对半导体领域的信任。”但对此徐昀却选择了拒绝。“这件事先不急。”摇摇头表明自己的态度后，他接着又开口进行解释。“相比较一个光源上的突破，倒不如等首台国产高端光刻机交付使用后再对外界宣布这个消息，到时候造成的轰动肯定会更大。”“最好能对海外高端芯片制造产业链造成巨大影响。”“何况我觉得这天很快就会到来。”沉声讲道这里徐昀又补充了句。无论刘星还是杨靖都已经被徐昀折服，自然不会对其决定有所异议。仔细想想确实不如先把光源上的突破隐瞒下来，等到时候直接给外界一个大惊喜。不过罗长辉却从徐昀话中听出了其他信息，暂时按耐住心中涌现出的莫名激动，连忙开口进行询问。“徐教授。”“刚才你说这天很快就会到是什么意思？”此话一出也顿时引起了其他人的好奇，都集中注意力等着徐昀的下文。徐昀倒是没有要隐瞒的意思，只不过嘴角先是浮现出一抹意味深长的笑容，眨了眨眼回答道：“就是字面意思啊，我正在研究投影系统和掩膜方面的设计方案，估计用不了多久就会有结果。”既然光源问题已经被彻底解决，那么接下来自然要着手处理其他两项问题。毕竟他现在还剩下不少积分呢。不得不说他的这句话无疑是一石激起千层浪，再次给了在场众人一个深深震撼。主要听徐昀这话的意思，似乎已经在投影系统和掩膜上有了进展。如果以前他们或许不会往这方面想，但是现在吗……就算徐昀说过俩月就能把极紫外光刻机制造出来都不会感到太惊讶。而震撼之后则是狂喜，想到距离国产高端极紫外光刻机的出现越来越近，如何不让人感到兴奋激动。